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精密机械零件加工精度差，一般是由于安装调整时，各轴之间的进给动态根据误差没调好，或由于使用磨损后，机床各轴传动链有了变化。可经过重新调整及修改间隙补偿量来解决。

当动态跟踪误差过大而报警时，可检查：伺服电动机转速是否过高。位置检测元件是否良好。位置反馈电缆接插件是否接触良好。相应的模拟量输出锁存器、增益电位器是否良好。相应的伺服驱动装置是否正常。

精密机械零件加工机床运动时超调引起加工精度不好，可能是加、减速时间太短，可适当延长速度变化时间。也可能是伺服电动机与丝杠之间的连接松动或刚性太差，可适当减小位置环的增益。